数百Paの窒素と水素の希薄混合雰囲気でグロー放電が発生し、このときイオンの衝撃により被処理物を加熱・窒化します。この方法は、従来の窒化方法とは異なり、自動車部品を中心に、さまざまな機械部品や精密部品などに幅広く使用できます。

窒化炭化は液体窒化基板上で開発され、使用される塩浴は毒性の高いシアン化物塩です。塩浴の活性を向上させ、窒化および浸炭プロセスを加速するために、空気または酸素が導入されます。つまり、酸化プロセスが生成されて、窒素および炭素原子の活性が増加します。シアン化物による深刻な汚染により、尿素を主成分とする炭化水素に発展しました。毒性の高いシアン化物は使用していませんが、塩浴にはまだシアン化物ラジカルが含まれており、使用中の塩浴の組成は不安定です。 。浸透プロセスの適用は制限されています。ガス窒化浸炭プロセスは、処理温度が低く（通常500〜600℃）、主に窒化と浸炭が行われるため広く使用されており、浸透後の性能は、単一の窒化や浸炭よりも理想的です。 

窒化または窒化浸炭は、構造の状態を変化させ、したがって、静的荷重および交流応力下での鋼材料の強度、摩擦、成形性、および腐食特性も変化させます。処理温度が600℃以下の場合、オーステナイト焼入れのように微細構造変態が起こらないため、マルテンサイトなしで任意の速度で冷却できます。焼入れと比較して、窒化された部品と工具のサイズと形状の変化は最小限です。その結果、後処理処理を簡素化または完全に排除することができ、さらに、エネルギー消費量は他の熱処理よりもわずかに低くなります。すべての産業分野で、強度、耐摩耗性、耐食性を向上させるための窒化または窒化炭化の適用が技術で広く使用されています。